半导体行业,在芯片制造过程(如扩散、薄膜沉积、刻蚀、离子注入)中,便会使用到各种易燃易爆、有毒有害的电子特气。由于生产中的挥发、渗漏、密封不严、设备振动等情况,一旦发生有毒有害气体泄漏,哪怕是轻微的,都可能扩散污染整条产品线,对人员和财产造成重大损失。除此以外,在化工和制药等行业,也同样面临有毒气体泄漏的威胁。
霍尼韦尔全新推出
快速气体泄漏响应及低拥有成本的解决方案
Vertex VC4有毒气体检测仪
哪怕细微泄漏,在霍尼韦尔检测仪面前都无处遁形!
亮点一:超高精度检测,倍速响应
Chemcassette®纸带气体侦测技术
半导体制造行业中有很多有毒气体如PH3、HF、AsH3等在工作环境中的允许浓度极微,Vertex™ VC4(以下简称:VC4)有毒气体检测仪攻克半导体行业气体检测难题,可以监测到运营中的超低浓度有毒气体泄漏,是拥有高成本效益的可靠选择。
VC4有毒气体检测仪搭载霍尼韦尔的Chemcassette®纸带气体侦测技术,可以快速准确地检测出剧毒气体,检测限低至十亿分之一 (ppb),超低浓度气体检测也不在话下!
基于比色技术,当检测到现场存在气体泄漏时,经过化学处理的纸带会呈现清晰醒目的色斑,不仅实现超低浓度监测与及时报警,还能留存泄漏的物理证据,设计先进且人性化。
4点连续监测,经济灵活
作为最新的无干扰、低维护和低拥有成本解决方案,VC4有毒气体检测仪是设置有4个检测点的气体检测系统,可连续同时侦测四个点位,更经济,更灵活,有效助力企业提升安全性与生产效率。
超长采样管及更大的采样流量,倍速响应
VC4有毒气体检测仪采样距离可达120米,可以灵活布置采样点,帮助用户节省管路成本。
同时,每个测点的采样流量可达到2.8LPM,使探测反应更准,更快,更广,更稳,极大地提高了对气体泄漏的响应时间,满足最新的台湾地区EPA要求。
背靠霍尼韦尔自身强悍的创新实力,加持本土化的生产和研发,VC4有毒气体检测仪着眼于中国高科技企业需求,“中国味儿”十足!
凭借着立足中国本土的先天优势,VC4有毒气体检测仪的生产供货和服务响应都能实现快人一步。交货期更短,还可以为中国企业提供更稳定、更快捷的技术支持,轻松满足半导体芯片、面板、光伏、化工和制药等行业需求。
VC4有毒气体检测仪,可为泛半导体生产以及实验室,提供更灵活的配置方案。2021年面世的Vertex™ C有毒气体检测系统,可以支持96点传感器的气体侦测,气体泄漏响应迅速,覆盖高科技工厂中大部分的气体检测需求。